旋片式真空泵一般使用
旋片真空泵的抽速范圍為0.5~150升/秒(1升=10-3米3),工作壓力范圍一般為1×105~1帕,較大抽速的壓力范圍為1×105~13帕。極限壓力:單級泵為1帕,雙級泵為6.5×10-2帕。旋片真空泵一般只適于抽除干燥或含有少量可凝性蒸汽的氣體(對于后者須裝氣鎮閥),不適于抽除含氧過高、爆炸性、腐蝕性、對泵油起化學作用和含有固體顆粒的氣體。在真空系統中,這種泵可單獨使用,或作為增壓泵、擴散泵等的前級泵。
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